Trennung von SE und BSE Signalen am Rasterelektronenmikrosko

Maow · Gast

Meine Frage:
Hallo ich bin Student der Geologue/Mineralogie,

ich bin leider nicht sehr bewandert auf dem Gebiet der Rasterelektronenmikroskopie und habe daher eine kleine Verständnisfrage. In einem Vorlesungsskript der TU Darmstadt habe ich gelesen, dass eine experimentelle Trennung von SE (Sekundärelektronen) und langsamer(!) BSE (Rückstreuelektronen) nicht möglich ist. Bedeudet das, dass wenn ich ein stinknormales SE-Bild erstelle ich auch immer einen Anteil langsamer BSE habe? Also die würden ja mitdetektiert werden und iwelche Auswirkungen auf Auflösung o.a. haben oder?

Eine Zweite Frage die ich noch schnell habe ist wie kann ich die Auflösung und damit die Genauigkeit effektiv erhöhen ?

Meine Ideen:
Zur zweiten Frage dachte ich mir, dass ja die Auflösung z.B. von der kinetischen Energie der Primärelektronen abhängig ist. Damit haben wir Proportionalität zu Q, U, I. Erhöhe ich einen dieser Faktoren, so erhöhe ich die kinetische Energie und damit die Eindringtiefe. Bei Rückstreuelektronen vergrößert sich damit di Diffusionswolke und es kommt somit zu größeren Störungen. Bei SE sollte dies auch passieren, wennauch die Eindringtiefe von SE wesentlich niedriger ist. Prinzipiell reicht auch eine kritische kinetische Energie zur Erzeugung der SE aus. Also dachte ich mir, nichts dergleichen zu verändern und ggf. einfach z.B. ein besseres Vakuum zu erzeugen, Abstand von Probe-Detektor zu verkleinern , oder irre ich mich? Normalerweise ahben wir 20 keV Becshleunigungsspannung verwendet um unsere Bilder zu erzeugen.