ich hab da mal ne kleine Frage zum Thema Sputtern ich hab da so ein generelle Frage.
Eine Kammer, in der ein Hochvakuum angelegt wird....
Edelgas wird eingeleitet...............
Eine Kathode und Anode werden unter Spannung gesetzt...
Elektronen ionisieren z.B. Edelgasatome ( Argon )...... ( Plasma )
positive Argonatome schiessen zur Kathode , wo sie dann Metallatome herrausschlagen... ( zusätzlich werden Sekundärtelektronen freigesetzt die das Plasma weiter brennen lassen....
Diese Metallatome wandern zur Anode und lagern sich dort hab ...
Die Schicht bildet sich...
Nun meine Frage woher kommen die ersten Elektronen ???
Aus der Kathode ??? Weil eine Spannung anliegt ???
Um so einen Vorgang in Gang zu bringen, braucht man nicht besonders viele "erste Elektronen".
Da dürfte also das reichen, was durch ionisierende Strahlung aus der Umgebung, zum Beispiel kosmische Strahlung (energiereiche Teilchen aus dem Weltall und die Teilchen, die in der Erdatmosphäre daraus entstehen), oder vielleicht sogar durch thermische Ionisation (einige sehr wenige Argonatome könnten auch bei den vorhandenen Temparaturen schon so schnell sein, dass ihre kinetische Energie bei einem Stoß schon ausreicht, um einen der Stoßpartner zu ionisieren) entsteht.
Ein interessanter Link zu Ionisation dürfte folgender sein:
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