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Matse123



Anmeldungsdatum: 01.11.2021
Beiträge: 1

Beitrag Matse123 Verfasst am: 01. Nov 2021 13:06    Titel: Lithographie Antworten mit Zitat

Meine Frage:
Sehr einfach Frage

Was hat die Wellenlänge bei der Halbleiterfertigung mit der Strukturgröße zu tun dass UV im nm verwendet werden muss?
?


Meine Ideen:
Ist nicht die Amplitude die physische Größe die verändert wird?
Nils Hoppenstedt



Anmeldungsdatum: 08.01.2020
Beiträge: 2019

Beitrag Nils Hoppenstedt Verfasst am: 01. Nov 2021 13:48    Titel: Re: Lithographie Antworten mit Zitat

Matse123 hat Folgendes geschrieben:

Ist nicht die Amplitude die physische Größe die verändert wird?


Nein, aufgrund der Wellennatur des Lichts lässt sich Licht nicht auf einen beliebig kleinen Punkt fokussieren, sondern es gibt es gewisse Mindestgröße, die gemäß der Abbeschen Abbildungstheorie im Wesentlichen gegeben ist durch:



Hier ist lambda die Wellenlänge des Lichts und NA die numerische Apertur der Abbildungsoptik. Je kleiner die Wellenlänge ist, desto kleiner ist also die erreichbare Strukturgröße (moderne Anlagen arbeiten mit einer Wellenlänge von 13.5 nm).

Viele Grüße,
Nils

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Ihr da Ohm macht doch Watt ihr Volt!
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