 Verfasst am: 01. Nov 2021 13:48 Titel: Re: Lithographie |
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Nein, aufgrund der Wellennatur des Lichts lässt sich Licht nicht auf einen beliebig kleinen Punkt fokussieren, sondern es gibt es gewisse Mindestgröße, die gemäß der Abbeschen Abbildungstheorie im Wesentlichen gegeben ist durch: Hier ist lambda die Wellenlänge des Lichts und NA die numerische Apertur der Abbildungsoptik. Je kleiner die Wellenlänge ist, desto kleiner ist also die erreichbare Strukturgröße (moderne Anlagen arbeiten mit einer Wellenlänge von 13.5 nm). Viele Grüße, Nils |
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| Verfasst am: 01. Nov 2021 13:06 Titel: Lithographie |
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| Meine Frage: Sehr einfach Frage Was hat die Wellenlänge bei der Halbleiterfertigung mit der Strukturgröße zu tun dass UV im nm verwendet werden muss? ? Meine Ideen: Ist nicht die Amplitude die physische Größe die verändert wird? |
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