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[quote="ML"]Hallo, hier wird schon einiges dazu beschrieben: https://de.wikipedia.org/wiki/Reflektometrische_D%C3%BCnnschichtmessung https://physicsopenlab.org/2021/09/15/thin-film-reflectometry/ Ein alternatives Verfahren ist die Ellipsometrie: https://de.wikipedia.org/wiki/Ellipsometrie Viele Grüße Michael[/quote]
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Autor
Nachricht
sabse
Verfasst am: 16. Feb 2024 06:41
Titel:
Hallo,
vielen Dank für die Links, sehen sehr interessant aus
Viele Grüße
Sabse
ML
Verfasst am: 15. Feb 2024 17:19
Titel: Re: Spektrale Reflektometrie zur Schichtdickenmessung
Hallo,
hier wird schon einiges dazu beschrieben:
https://de.wikipedia.org/wiki/Reflektometrische_D%C3%BCnnschichtmessung
https://physicsopenlab.org/2021/09/15/thin-film-reflectometry/
Ein alternatives Verfahren ist die Ellipsometrie:
https://de.wikipedia.org/wiki/Ellipsometrie
Viele Grüße
Michael
sabse
Verfasst am: 14. Feb 2024 21:28
Titel: Spektrale Reflektometrie zur Schichtdickenmessung
Hallo zusammen,
ich hätte ein paar Fragen zur Messung von Schichtdicken mittels spektraler Reflektometrie (SR):
a) Bei der SR wird das Licht in der Regel senkrecht zur Probenoberfläche eingestrahlt. Warum bevorzugt man einen senkrechten Einfallswinkel bei dieser Messmethode?
Wäre es möglich, auch schräge Einfallswinkel zu verwenden?
b) Welche minimalen Schichtdicken (d_min) können mittels SR gemessen werden, beispielsweise bei einem Schichtsystem aus Silizium-Photolack
(Si: Substrat, Photolack: Dünne Schicht)?
Lässt sich die minimal messbare Schichtdicke theoretisch ableiten? Gibt es hierfür vielleicht eine Gleichung?
c) Gibt es eine Möglichkeit, die optische Weglänge zu erhöhen, um somit auch dünnere Schichtdicken (d < d_min) messen zu können?
Zum Beispiel durch einen schrägen Lichteinfall, oder durch einen Aufbau mit Mehrfachreflexionen innerhalb der Schicht oder andere geometrische Tricks bzw. Versuchsanordnungen?
Danke und
Grüße,
Sabse