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[quote="Die Dunkle"]Danke fürs Korrekturrechnen! Die Formel aus deinem Web-Link ist aber viel einfacher (und führt zu einer Lösung in einer ganz anderen Größenordnung). Leider hatte ich noch keine Zeit, ein Stereobild von einem IC zu machen und zu vergleichen, aber das hol ich noch nach. Der Kippversatz, den ich messe, ist (da bin ich mir zu 97% sicher) x und nicht b. Denn ich messe aus dem Stereobild, nicht nur aus dem zweiten Bild (20° Neigung). Im Stereobild habe ich ja diesen Versatz der Kante: eine Kante in grün, die andere (genauer gesagt dieselbe) in rot. Dabei beziehe ich mich entweder auf den oberen Kantenpunkt (also messe ich b-x) oder auf den unteren, der sich am Übergang zwischen erhobener Struktur und Oberfläche des übrigen Objektes befindet (also messe ich x). Wenn ich eine senkrechte Kante hätte wie in der Zeichnung, könnte ich natürlich auch nur aus dem zweiten Bild messen, also die Höhe der Struktur bei 20° Neigung, also direkt b. Ja, das stimmt. Leider habe ich keine senkrechte Sruktur, sondern bin froh, wenigstens eine gut erkennbare "Fußkante" zu haben.[/quote]
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Nachricht
dermarkus
Verfasst am: 03. Mai 2006 02:24
Titel:
Danke, jetzt hab ichs verstanden!
Du hast recht mit dem Kippversatz, und dein Ergebnis
stimmt !
Wenn man deine Berechnung in eine kompakte Formel schreibt, dann lautet sie mit den x und e auf der Probe:
Dein Ergebnis ist sogar noch exakter als das, was man man der Formel aus "meinem" Web-Link bekommt, denn die dort angegebene Formel ist eine Näherung für kleine Winkel.
Die Parallaxe ist nicht, wie ich vermutet hatte, dein Kippversatz auf der Probe, sondern das Doppelte des Kippversatzes, den du aus deinem Stereobild abliest (siehe vorletzter Absatz auf Seite 2 "meines" Web-Links). Man muss die Parallaxe P also halbieren und durch die Vergrößerung M teilen, um deinen Kippversatz x auf der Probe zu erhalten.
Die Dunkle
Verfasst am: 02. Mai 2006 08:52
Titel:
Danke fürs Korrekturrechnen! Die Formel aus deinem Web-Link ist aber viel einfacher (und führt zu einer Lösung in einer ganz anderen Größenordnung). Leider hatte ich noch keine Zeit, ein Stereobild von einem IC zu machen und zu vergleichen, aber das hol ich noch nach.
Der Kippversatz, den ich messe, ist (da bin ich mir zu 97% sicher) x und nicht b. Denn ich messe aus dem Stereobild, nicht nur aus dem zweiten Bild (20° Neigung). Im Stereobild habe ich ja diesen Versatz der Kante: eine Kante in grün, die andere (genauer gesagt dieselbe) in rot. Dabei beziehe ich mich entweder auf den oberen Kantenpunkt (also messe ich b-x) oder auf den unteren, der sich am Übergang zwischen erhobener Struktur und Oberfläche des übrigen Objektes befindet (also messe ich x).
Wenn ich eine senkrechte Kante hätte wie in der Zeichnung, könnte ich natürlich auch nur aus dem zweiten Bild messen, also die Höhe der Struktur bei 20° Neigung, also direkt b. Ja, das stimmt. Leider habe ich keine senkrechte Sruktur, sondern bin froh, wenigstens eine gut erkennbare "Fußkante" zu haben.
dermarkus
Verfasst am: 29. Apr 2006 17:51
Titel:
Schön, jetzt sind die Bilder gut sichtbar und lesbar!
Trotz Super-Handschrift ist das ganze noch ein bisschen unübersichtlich nachzuvollziehen, vor allem, weil du wenig Kommentartext dazugeschrieben hast.
Ich nehme an, dass du gerechnet hast:
mit
und damit erhältst du mit e=95,7 Mikrometer dann c= 20,7 Mikrometer.
Und entsprechend korrigierte Werte für die korrigierten Werte von e.
Unter der Voraussetzung, dass du dein x richtig eingezeichnet hast, kann ich dir diesen Rechenweg als richtig bestätigen.
Aber was meinst du, trügt mich meine Vermutung, dass der Kippversatz, den du deinem Bild entnimmst, eigentlich das sein müsste, was du in deiner Zeichnung als b=x+d bezeichnet hast?
Denn ich denke, dass die obere und die untere Kante der Höhenstufe, die in einem Bild mit "waagerechter" Probe genau übereinanderliegen würden, auf dem zweiten Bild mit um 20° gekippter Probe gerade den Abstand b voneinander haben. Also müsste doch b der Kippversatz sein. Oder bringe ich da was durcheinander?
Die Dunkle
Verfasst am: 27. Apr 2006 18:04
Titel:
So, in der falschen Reihenfolge und hoffentlich den Aufwand wert ;-)
siehe oben!
Die Dunkle
Verfasst am: 27. Apr 2006 17:30
Titel:
am Format liegts nicht, laut FAQ müsste er gleich meckern...
GIF und JPG sind natürlich zu groß
BMP ist natürlich nicht erlaubt
Die Dunkle
Verfasst am: 27. Apr 2006 17:22
Titel:
vielleicht hilft einloggen...
___________________
AHHHHHHHHHHHHHHHH!!!!!!!!!!!!!!!!!
kleiner gemacht und dann gif
vielleicht ja jetzt... *nicht wirklich dran glaub*
hmmm, n bissl groß vielleicht
___________________
besser für die augen
dermarkus
Verfasst am: 27. Apr 2006 16:40
Titel:
Das mit den Bildern scheint noch nicht geklappt zu haben, ich sehe jedenfalls noch nichts. Magst du es nochmal probieren, sie hier reinzustellen?
Gast
Verfasst am: 27. Apr 2006 14:10
Titel:
Und hier endlich Teil zwei.
Gast
Verfasst am: 27. Apr 2006 12:43
Titel:
Im Anhang sind die Berechnungen. Da ich lange, lange keine Trigonometrie hatte, hab ich einige überflüssige Rechnungen dabei.
Dann ist noch ein Fehler dabei, den ich erst beim Scannen gefunden habe:
aus Bild: e=17mm
richtigerweise e=8,5mm bzw. e=29,75µm (Entfernung euzentrischer Punkt - Kante)
ergo q=27,96µm
ergo d=1,79µm
ergo c=15,47µm
tja, lang, lang ist´s her...
dermarkus
Verfasst am: 27. Apr 2006 12:33
Titel:
Die Dunkle hat Folgendes geschrieben:
Der Kippversatz x ist der ... schwer zu beschreibende Anteil der Ankathede...
Ich vermute, da könnte ein Fehler liegen.
Ich denke, der Kippversatz ist die Gegenkathete in deinem Dreieck.
Die Dunkle
Verfasst am: 27. Apr 2006 11:58
Titel:
Nach der Formel in deinem Link beträgt die Höhe der Struktur 23nm entgegen 20µm laut meiner Berechnung. Am besten ich sehe zu, dass ich eine Probe vermesse, deren Strukturhöhe bekannt ist (ein IC vielleicht), um zu sehen, welche Lösung richtig ist.
Trigonometrische Berechnungen.
Ich gehe von einem rechtwinkligen Dreieck aus.
Die Hypothenuse c ist die unbekannte Höhe.
Der Kippwinkel von 20° ist Beta.
Der Kippversatz x ist der ... schwer zu beschreibende Anteil der Ankathede...
Am besten ich scan die Zettel mit der Berechnung und der Zeichnungen ein und geb es als Attachment mit.
Moment.
dermarkus
Verfasst am: 27. Apr 2006 01:31
Titel:
Magst du dann vielleicht mal schreiben, was du konkret mit den "trigonometrischen Beziehungen" gemacht hast, um die Strukturhöhe aus dem Stereobild zu entnehmen? Ich denke mal, dann können wir das auch ohne eine fertige und übersichtliche Anleitung aus dem Internet (die wir also eventuell noch nicht so schnell gefunden haben) klären.
// edit: Oder helfen dir direkt schon die Formeln auf Seite 3 der folgenden Quelle?
http://www.mse.mtu.edu/~jwdrelic/Lab3_MY5200.pdf
In diesen Formeln ist M die Vergrößerung des Bildes, P die Parallaxe (ich denke, das ist dein "Versatz") und
die Differenz der Kippwinkel.
Die Dunkle
Verfasst am: 26. Apr 2006 16:09
Titel:
Nein, es hat mir nicht wirklich weitergeholfen.
dermarkus
Verfasst am: 26. Apr 2006 12:30
Titel:
Eigentlich klingt das alles ganz gut so, wie du das beschreibst.
Vielleicht findest du hier:
http://www.fh-oow.de/fbi/we/mf/to/3-d01.php
und ausführlicher hier:
http://cvpr.uni-muenster.de/teaching/ws05/bildanalyseWS05/script/BA-Kap12.pdf
etwas weiter- oder tiefergehendes, was dich in deinem Vorgehen (die du als "mit trigonometrischen Beziehungen" angedeutet hast) bestätigt?
Die Dunkle
Verfasst am: 26. Apr 2006 11:53
Titel: Stereobild: Höhenbestimmung
Hallo Experten,
habe mit dem REM ein Stereobild gemacht und versuche nun seit Tagen dahinter zu kommen, wie ich aus dem Kippversatz auf die Höhe der Struktur schließen kann.
Ausführlicher:
Ich habe ein Objekt mit einer erhobenen Struktur. Die Dicke/Höhe dieser Struktur möchte ich nun herausfinden. Mit dem REM habe ich zwei Aufnahmen gemacht und dabei die Probe gekippt, 5° nach rechts und 15° nach links. (Wenn das ungünstig ist, änder ich das gern. Und ja, ich habe den euzentrischen Punkt beachtet.
)
Mit dem Mischfenster der Software habe ich ein Stereobild daraus gemacht und dieses ausgedruckt. Aus dem Bild kann ich den Maßstab entnehmen und den Versatz einer Strukturkante (Kante in rot und grün). Über trigonometrische Beziehungen bin ich auf eine Strukturhöhe von 20µm gekommen, was ich durchaus als möglich betrachte, aber irgendwie glaube ich nicht, dass das so einfach sein soll.
Wer weiss, wie es geht? Wer weiss, wo ich nachschlagen muß?
Gruß